技术编号:11764
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开了一种可用于ITO靶材烧结的气氛钟罩炉,包括炉体、炉架、冷却系统、气氛控制调节管道系统和温度控制系统,炉体为一安装于炉架上的中空结构,内部的腔体设置为炉膛,炉体的底部设有作为活动炉门的窑车,且窑车作为活动炉门关闭时能与炉体形成密封连接,炉膛的顶部及四周的内壁上设置有高温耐火材料层,炉体的顶部安装有加热元件并向下延伸至炉膛内,冷却系统的冷却风管道穿过炉体底部的侧壁并通向炉膛内,气氛控制调节管道系统的通气管路穿过炉体底部的侧壁并通向炉膛内,温度控制系统包括安装于炉体上的多个测温热电偶。本实用新型具...
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