光发射器装置、光声气体传感器和用于形成光发射器装置的方法与流程技术资料下载

技术编号:11765068

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示例涉及用于生成光的概念及其应用,并且特别涉及光发射器装置、光声气体传感器和用于形成光发射器装置的方法。背景技术光发射器装置(例如微机电系统光发射器装置)可能必须在成本方面进行优化。然而,期望形成具有降低的功率消耗的光发射器装置。发明内容可能需要提供具有降低的功率消耗的光发射器装置的概念。这种需要可以由权利要求的主题内容来满足。一些实施例涉及一种光发射器装置。光发射器装置包括发射器部件,所述发射器部件包括布置在膜结构上的加热器结构。膜结构位于第一腔上方。另外,第一腔位于膜结构和发射器部件的支撑衬...
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