技术编号:11768062
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种液晶显示面板生产技术,特别是一种支撑件及镀膜设备。背景技术在PVD(物理气相沉积)镀膜领域中,随着靶材(Target)利用率提升、纯铝工艺(Metal1PureAlProcess)的上线,不但使运转成本大幅降低也使得维护周期大幅的延长,如此也间接提升设备运行时间(EQUpTime)及当站的产出,但其中最大的瓶颈莫过于处理腔(ProcessChamber)中的部件寿命(PartsLife)是否能匹配如此长的维护周期(PMCycle),防着板首当其冲,但很快便以粗糙表面(Emboss(...
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