扩散速率受限的热化学气相沉积涂层的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11768069

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本发明涉及热化学沉积。更具体而言,本发明涉及扩散速率受限的热化学气相沉积涂层(diffusion-rate-limitedthermalchemicalvapordeposition)。背景技术反应速率受限的热化学气相沉积(“CVD”)能够用于产生具有优异性能的可应用于大量材料的涂层。然而,反应速率受限的热CVD会产生不想要的装饰效果和/或不一致性。例如,使用加工珠为一种产生反应速率受限的热CVD涂层的技术。所述珠可导致不一致的厚度,例如产生珠斑和/或不同的染色。同样地,高浓度的分解用气体在大于...
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