技术编号:11776582
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种离子源的电源系统及离子源本申请为发明名称为“一种离子源的电源系统及离子源”的分案申请,原申请的申请日为2016.8.31,申请号为201610792691.2。技术领域本发明涉及离子束技术领域,尤其涉及一种离子源的电源系统及离子源。背景技术离子束加工是当代微电子机械系统(MEMS)微纳精密加工的重要工艺之一,而离子源是离子束加工系统的核心。卡夫曼离子源是目前最常用的电子轰击宽束离子源(BBIS),采用主阴极、弧板阳极、屏栅、加速栅和中和器等构成,其中主阴极可以采用直热电子发射丝放电阴极,屏栅...
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