技术编号:11776677
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对基板进行搬运的基板搬运装置、包括该基板搬运装置的基板处理装置、以及抑制在基板搬运装置产生结露的结露抑制方法。背景技术对半导体晶片等基板进行研磨的基板处理装置除了研磨单元之外,还由对研磨后的基板进行清洗的清洗单元、对清洗后的基板进行干燥的干燥单元、在单元之间搬运基板的搬运机构等构成。然而,在基板处理装置内,为了对基板进行保湿而供给有冲洗水。当供给来的冲洗水施加于搬运机构时,恐怕会在搬运机构产生结露而导致搬运机构不能正常动作,从而给搬运造成障碍。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特...
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