一种存储单元的制造方法、存储单元及存储器与流程技术资料下载

技术编号:11776692

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本发明涉及一种存储单元的制造方法、存储单元及存储器,特别是涉及一种具有4F2单元面积的存储单元的制造方法、存储单元及存储器。背景技术动态随机存储器(英文:DynamicRandomAccessMemory,简称:DRAM)是一种广泛应用于计算机系统的半导体存储器。DRAM由多个存储单元构成,每个存储单元通常包括晶体管和电容;晶体管的栅极与字线电连接、源极与位线电连接、漏电极与电容电连接,字线上的字线电压能够控制晶体管的开启和关闭,从而通过位线能够读取存储在电容中的数据信息,或者将数据信息写入到电...
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