一种阻变存储器的制造方法和阻变存储器与流程技术资料下载

技术编号:11776888

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本发明涉及存储器技术领域,尤其涉及一种阻变存储器的制造方法和阻变存储器。背景技术随着大规模集成电路技术的持续发展,受其自身存储机理的限制使得传统Flash存储器技术难以满足摩尔定律的发展,追求单片集成密度,对Flash造成成本和技术的压力。为了降低生产成本,同时避免技术节点的物理极限对存储市场的影响,寻求高集成度、更高速读取的存储,进而取代Flash的存储器成为了人们研究的热点。近些年来,基于新的存储机理和技术的新型非挥发性存储器也不断出现。阻变存储器(RRAM)作为下一代非挥发存储器有力候选者...
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