技术编号:11776913
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及有机EL显示面板及其制作方法,尤其涉及密封膜的耐用性改善。背景技术在有机EL显示面板中,设置有以保护呈二维状配置的多个有机EL显示元件的整体不受水分、气体等的劣化为目的的密封膜。现有的密封膜通过氮化硅(SiN)等形成,另外,作为其形成方法,使用等离子体CVD(Plasma-EnhancedChemicalVaporDeposition:等离子体增强化学气相沉积)等。氮化硅膜的成膜时,若提高膜密度增强密封性,则会导致对于密封膜的折曲的耐性极小,在覆盖部位存在台阶隔壁、异物的情况下的覆盖性...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。