技术编号：11780083
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。隧道场效应晶体管背景技术本描述的实施例一般涉及微电子器件制造领域，尤其涉及隧道场效应晶体管的制造。附图说明本公开的主题在说明书的结论部分被特别指出并清楚要求保护。本公开的前述及其它特征根据以下描述和所附权利要求并结合附图将变得更加完全地明显。应理解，附图仅描绘了根据本公开的几个实施例，因而不应被视为对其范围的限制。通过使用这些附图将利用附加特性和细节来描述本公开，使得本公开的优点可被更容易地确定，在附图中：图1a示出本领域已知的隧道场效应晶体管的示图。图1b是本领域已知的图1a的隧道场效应晶体管...
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