技术编号：11792370
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式涉及浸涂用保持夹具及采用其的浸涂系统。背景技术电子束蚀刻、光刻、纳米压印及基于高分子和/或微粒的自我组织化等的各种蚀刻技术中，必须在基板上涂敷抗蚀剂。作为抗蚀剂的涂敷方法，有旋涂法和/或喷墨法、喷涂法等各种方法，但是，将基板在抗蚀剂溶液中浸渍后通过垂直上提而形成抗蚀剂层的浸涂法，从抗蚀剂的使用量和/或生产节拍的观点看，量产性佳，常常在硬盘驱动器(HDD)介质的润滑剂涂敷工序等中使用。浸涂法是利用在基板和抗蚀剂溶液的界面产生的弯液面而在基板上涂敷抗蚀剂的手法。将该浸涂法应用于HDD...
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