技术编号：11799151
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学微纳谐振腔的结构及其制作方法，尤其是涉及一种基于两个单排粒子链的微纳结构的高品质因子的光学谐振腔及其制作方法。背景技术光学谐振腔在光学领域有着巨大的应用，其中法布里—帕罗谐振腔是光学谐振腔中应用最广泛的一种。品质因子反映是法布里—帕罗谐振腔性能水平的最关键指标之一，而谐振腔的品质因子主要取决于反射镜的性能。大部分法布里—帕罗谐振腔中所采用的反射镜是传统的基于金属薄膜的反射镜，这种基于金属薄膜的反射镜在一定带宽下能实现对电磁波的反射；但是，对于蓝光或更高频率的光，由于金属材料的趋...
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