技术编号：11799165
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电技术领域，具体涉及一种基于电热驱动的MEMS旋转执行器。背景技术MEMS(微机电系统)执行器是微机电技术一个重要的分支，是许多微机电系统的重要组成部分。微执行器最基本的工作原理是能量转换，一般是将电能转化为机械能，从而实现一定的机械操作。常见的驱动方式主要有四类：静电式、电磁式、电热式、压电式等。一般的这些微驱动器产生位移或驱动动力较小，且多用于产生线性位移的场合，相比于其他驱动器，电热驱动器能够产生较大驱动位移，但仍然难以满足某些特定的场合，特别需要产生旋转且需要大旋转角度的场...
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