技术编号:11799388
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于多晶硅生产技术领域,涉及多晶硅生产中的还原炉钟罩去冷却水方法,可有效地节约电能和物料损失。背景技术现有的多晶硅生产方法通常是西门子或改良西门子多晶硅生产方法。在这种生产方法中,主要的生产装置是还原炉。还原炉在生产中要消耗大量的冷却水来带走生产中炉筒和底盘产生的大量的热量。还原炉内的温度高达1100℃,而要把还原炉内传给炉筒壁上的热量带走,就要有大量的用于冷却的水来完成,消耗大量的水和带走了许多的热能,这也就增加了多晶硅生产中的成本和能耗。现有技术就是耗用大量的冷却水来带走还原炉壁上的热...
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