技术编号:11800035
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于离子束加工领域,具体涉及一种离子束加工工件的误差补偿方法。背景技术目前,离子束加工技术的基本原理是利用离子溅射原理,将宽束低能离子源发出的具有高斯形状的离子束轰击被加工零件表面,轰击过程中,当工件表面原子获得足够的能量可以摆脱表面束缚能时,就会脱离工件表面。在离子束抛光或离子束刻蚀过程中,离子源中气体通过电离产生等离子体,离子源和离子束温度都很高,在离子束不断轰击工件表面时,工件材料受离子束的热冲击作用,温度不断升高。根据材料力学和材料强度学可知,材料温度的升高,材料本身的强度特性和晶...
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