技术编号:11802585
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及适合作为各种显示器用基板玻璃和光掩模用基板玻璃、实质上不含碱金属氧化物且能够进行浮法成形的无碱玻璃。背景技术以往,对于各种显示器用基板玻璃、特别是在表面上形成金属或氧化物薄膜等的基板玻璃,要求以下所示的特性。(1)含有碱金属氧化物时,碱金属离子会向薄膜中扩散而使膜特性劣化,因此要实质上不含碱金属离子。(2)在薄膜形成工序中暴露于高温时,为了将玻璃的变形和伴随玻璃的结构稳定化产生的收缩(热收缩)抑制在最小限度,应变点要高。(3)要对半导体形成中使用的各种化学品具有充分的化学耐久性。特别是...
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