技术编号:11805953
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种检测系统,特别是一种全域式影像检测系统及其检测方法。背景技术随着晶圆薄化趋势,晶圆翘曲变形可达毫米(mm)等级。也由于翘曲量增加,当一般的自动光学检测(Automaticopticalinspection,AOI)系统的对焦范围不够大和寻焦的速度不够快时,将造成自动光学量测系统的对焦不易,延长了检测时间,造成检测的效果不佳,而影响到后续工艺的进行。在现有技术中,主要的对焦方式分成主动式对焦以及被动式对焦两种方式,其中被动式对焦利用粗调与细调两阶段的方式寻焦,主动式对焦利用光源产生的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。