技术编号：11809865
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于多图案化应用的光调谐硬掩模本申请是申请日为2014年5月2日申请的申请号为201480024930.9，并且发明名称为“用于多图案化应用的光调谐硬掩模”的发明专利申请的分案申请。公开内容背景发明领域本文的实施方式大体关于一种用于形成用在光刻(lithographic)多图案化制造工艺中的硬掩模(hardmask)的制造方法。背景技术描述可靠地生产次微米(submicron)和更小的特征是半导体器件的极大型集成电路(VLSI)和超大型集成电路(ULSI)的关键要求之一。然而，随着电路技术的持续...
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