沉积用掩模制造装置及利用该装置的沉积用掩模制造方法与流程技术资料下载

技术编号:11810996

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本发明的一实施例涉及一种沉积用掩模制造装置及利用该装置的沉积用掩模制造方法。背景技术目前普遍使用以移动性为基础的电子设备。作为移动型电子设备,除移动电话等小型电子设备以外,近年来广泛使用平板电脑。为了支持各种功能且为了给用户提供图像或影像等视觉信息,这种移动型电子设备包括显示部。最近,随着用于驱动显示部的其他器件的小型化,呈现出显示部在电子设备中所占的比重逐渐增加的趋势,并且还开发能够从平整的状态以规定的角度弯曲的结构。为了形成如上所述的显示部,可通过各种方法来形成各层。此时,形成各层的方法可以...
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