技术编号：11811037
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置，更具体地，涉及一种利用两个施体基板和有机膜蒸镀工序，在元件基板蒸镀有机膜层，从而确保经蒸镀的有机膜的均匀性，减少有机物的损失，并且缩减工序时间(TACTtime)以提高生产率的有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置。背景技术平板显示装置中，有机电场发光显示装置的响应速度在1ms以下，具有高响应速度，耗电量低，并且由于自主发光，没有视角问题，因此与装置大小无关地成为优秀的动态影像显示媒介。此外，能够在低温下制作，并且基于现有的半导体工艺技术，制造工艺简单，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。