技术编号：11822230
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及毛细管放电Z箍缩极紫外光源收集镜片面型的简便检测技术。背景技术毛细管放电Z箍缩极紫外光源(DPP技术)，是在陶瓷毛细管两端施以一个大电流，快脉冲进行放电，此时在毛细管内充填的工作介质气体，开始沿管壁产生气体电离，形成等离子体壳，随之在内部强大电磁场产生的劳伦兹力作用下，等离子体壳向轴心运动，这一过程称之为Z箍缩，在箍缩同时，会产生欧姆加热，产生高温等离子体，再与管内气体作用，产生更高价气体的离子，如Xe气介质产生十价的Xe离子Xe10+，该离子退激时，会产生13.5nm的极紫外光辐射，...
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