技术编号:11822373
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于惯性测量技术领域,具体涉及一种微机电陀螺。背景技术陀螺是一种用于敏感载体相对于惯性空间角运动的仪表,是惯性导航和制导系统的核心器件。微机电陀螺是以微电子和微机械工艺为基础制造的新型惯性仪表,具有体积重量功耗小、集成性高、抗恶劣环境、成本低等优点。基于哥式振动原理的音叉型微机电陀螺是微机电陀螺重要的技术发展方向,其结构型式紧凑,工艺实现简单,可广泛应用于精确制导弹药、战术导弹等军事领域以及汽车工业、钻井探测等民用领域。当前,在实现更高性能方面,现有的音叉型微机电陀螺存在如下问题。1)驱动...
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