技术编号：11824720
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光纤流速测试技术，更具体的说，是涉及一种基于光纤MEMS法珀微腔的流速测试装置与测试方法。背景技术在当前工业生产中，流速测试占有重要地位，随着光纤技术的日益成熟，基于光纤传感的流速测试方法也得到了极大发展。张文涛等人公布了一种光纤激光涡街流量计(中国发明专利申请201210464791.4)，该种光纤激光涡街流量计采用光纤光栅激光器置于发生体后侧形式，通过测试流产生涡街导致的光纤光栅应变变化获取管道流速大小。郑佳伦等人公布了包括光纤布拉格光栅传感器的卡门涡街流量计组件以及测量流体流...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。