一种可编程闭环Sigma‑Delta微加速度计及控制系统的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11824733

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一种可编程闭环Sigma-Delta微加速度计及控制系统技术领域本发明涉及控制电路领域,特别涉及一种可编程闭环Sigma-Delta微加速度计及控制系统。背景技术微机械加速度计是一种重要的惯性传感器,广泛用于汽车、导弹等领域。当外界有加速度时,闭环的控制方式引入了静电力,在静电力的作用下,敏感质量块始终保持在中心位置附近,降低了系统的非线性,提高了系统的稳定性。同时,采用数字式脉宽反馈来代替模拟反馈,有利于提高静电力的线性度,避免了因静电力过大导致质量块与检测电极之间相互吸附。相对于传统的模数转...
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