技术编号：11825274
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域，更具体地说，本发明涉及一种ATE(自动测试设备)测量线路中的阻抗校准补偿方法，用于在使用ATE进行测试时对测量线路上的电阻进行校准补偿。背景技术集成电路芯片在加工完成后需要进行测试，通常采用ATE来完成集成电路芯片的量产测试。ATE内部资源通过测试负载板连接到被测芯片的管脚。在此过程中，ATE内部资源板及测试负载板上每个通道的走线，外围电路均具有一定的电阻特性,安装在测试负载板上的测试夹具本身也具有一定的电阻；同时，ATE资源接口与测试负载板的接触以及负载板上测试夹具与...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。