技术编号：11826240
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微显示驱动面板制备工艺，更具体地说是一种硅基液晶(LiquidCrystalonSilicon，LCoS)微显示驱动面板制备工艺。背景技术硅基液晶(LiquidCrystalonSilicon，LCoS)是一种液晶显示器(LCD)的新兴技术，是由AuroraSystems融合半导体CMOS集成电路与液晶两项技术的优势，于2000年开发出的一种高分辨率，低价格，反射式新型显示技术。它是一种将LCD直接制于单晶硅片上的新型液晶显示器件。单晶硅片上可将LCD的有源矩阵薄膜晶体管(AMTFT)...
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