技术编号：11826596
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于纳米加工技术领域，尤其涉及一种金属纳米线的制备方法。背景技术纳米加工技术是纳米技术中最重要的基础技术，纳米加工技术水平很大程度上依赖于光刻胶的灵敏度和分辨率。较薄的光刻胶不仅可以提高光刻的分辨率同时也可以缩短光刻周期，而较厚的光刻胶有利于光刻制备胶图形向后续工艺的转移。目前，金属纳米线的制备方法主要有刻蚀技术和剥离技术，相比于刻蚀技术，剥离技术可以制备出多种不同的金属纳米线，同时很容易制备多层金属的纳米线。利用剥离方法制备金属纳米线的关键是制备出具有大占空比厚胶纳米条纹图形。而现有的制...
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