技术编号：11826626
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种照明系统以及一使用其形成鳍状结构的方法，尤指一种使用包括一环形开口以及一双极开口的不透明板作为光瞳的一种照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法。背景技术随着半导体制造技术的发展，集成电路的尺寸也越来越小，且运作速度也越来越快。在集成电路的制造过程中，最关键的技术莫过于所谓的光刻制作工艺(photolithographyprocess)，其肩负着将光掩模上图案精确地转移至晶片上不同元件层的重责大任。光刻制作工艺主要是通过曝光装置将光掩模上的图案投影至形成于晶片上的光致抗蚀剂，因此决定形...
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