技术编号:11835923
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。荷电粒子束装置、试样观察系统本申请为申请日为2013年3月15日、申请号为201380011581.2、发明名称为“荷电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序”的专利申请的分案申请。技术领域本发明涉及荷电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序的技术。背景技术扫描型电子显微镜(以下称为电子显微镜)操作中的参数的设定值即参数设定值的组合(以下称为观察条件)的设定大多是根据经验进行的。因此,会产生以下问题,即初学者在进行电子显微镜的操作时,很难掌握电子显微镜观察条件对拍摄图像产生怎样的影响,从而无法谋求初...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。