技术编号:11836285
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种光刻机硅片快速交接装置。背景技术随着半导体工艺生产力要求的不断膨胀,半导体制造设备的产率要求也不断提高。半导体设备中,通常是用硅片传输的传输机械手将硅片传输到硅片台,然后硅片台承载硅片以设有的运动导轨移动,完成一系列的曝光动作,实现硅片的光刻工艺。在整个过程中,传输机械手从硅片台下载已曝光的硅片,上载新的硅片的动作称为硅片的交接,此时间不能作为光刻机的有效产能,如果能够尽量减少硅片交接时间,则对提高产率有很大贡献。目前光刻设备中常用的硅片交接装置为...
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