技术编号：11836378
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种半导体技术，特别是关于一种动态随机存取存储装置的制造方法。背景技术随着技术的演进，动态随机存取存储装置的尺寸持续微缩化，使其密度越来越高，且各个存储装置更加接近彼此。如此一来，存储装置内产生的电荷容易泄漏至相邻的存储装置而发生位翻转(bitflip)现象，进而造成错误信号。这个现象称为字线干扰(Rowhammer)。图1绘示出一现有动态随机存取存储装置的剖面示意图。动态随机存取存储装置包括一虚设字线(dummywordline)14及两个一般字线12，设置于一基底10中。虚设字...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。