技术编号:11837146
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器制备技术领域,特别是涉及一种声表面波温度传感器的结构及制作方法。背景技术声表面波温度传感器相比于普通传感器,具有低成本、高灵敏度、稳定性好等独特的优点,而且借助无线读取系统可以实现无线无源检测,可广泛应用于电力、汽车、家居、工业制造等行业。但是声表面波温度传感器存在电极的质量加载效应及电极容易氧化等问题,尤其是在高频情况下,这种问题更容易造成器件性能的变化。为了解决这些问题,我们结合电极制造工艺及保护层沉积工艺,设计了一种新型的声表面波温度传感器制作方法。发明内容(一)要解决的技...
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