技术编号:11837149
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密驱动与控制领域,尤其涉及一种提高压电柔性机构输出位移和固有频率的结构。背景技术近年来,随着精密机械技术的发展,尤其是微纳米技术的出现,科学技术正式进入了“亚微米-纳米”时代。扫描电镜、光学仪器、精密加工等等电子、光学、机械、和航天领域,迫切需要高精度、高分辨率、高速率的驱动与定位平台。由于压电陶瓷具有高分辨率、高刚度和出力大等优点,广泛应用于精密驱动与控制,但是压电陶瓷的输出位移极小,即使是堆叠型压电陶瓷,其输出位移一般也不超过自身尺寸的0.2%。因此,公知的大多数压电陶瓷驱动的精...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。