技术编号:11840556
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电薄膜材料,特别是一种无铅压电薄膜材料及其制备方法。背景技术在器件向着集成化和微型化发展的今天,铁电薄膜材料以其优异的电学和光学性能如优异的介电、压电、热释电、铁电以及优异的电光和非线性光在微电子、微机电系统、光电子以及集成光学等领域都具有非常好的应用前景和巨大的潜在市场,铁电薄膜的研究成为了目前高新技术研究的前沿和热点之一。根据铁电薄膜性能的不同,其应用的领域也不同,例如具有优异介电性能的铁电薄膜可用于电容器、动态随机存取存储器(DRAM)等;具有优异压电性能的铁电薄膜可用于声表面...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。