技术编号：11840594
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种Ti-Al-Mo-N多组元硬质梯度膜及其制备方法和应用技术领域本发明涉及一种Ti-Al-Mo-N多组元硬质梯度膜及其制备方法和应用；属于特种材料制备技术领域。背景技术电弧离子镀是在阴极与阳极触发引燃电弧,弧光放电仅在靶材表面的一个或几个密集的弧斑处进行,弧斑在阴极靶材表面以每秒几十米的速度做无规则运动整个靶材均匀消耗,在阴极电弧沉积中,沉积材料是受真空电弧的作用而得到蒸发,在电弧线路中源材料作为阴极,大多数电弧的基本过程皆发生在阴极区电弧点,电弧点的典型尺寸为几微米,并且有非常高的电流密度。...
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