技术编号:11840689
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种原子团簇束流的有机体的纳米加工方法与设备。背景技术原子团簇是一门介于原子物理、原子核物理与材料物理之间的交叉学科,该学科特征性的提供一种团簇离子束流[1,2],可以作为超浅注入和纳米加工等等工业用途。其采用气相凝聚合成纳米团簇的方法,就是首先利用蒸发、离子轰击和激光作用等产生高密度的目的材料分子蒸气,之后通入高流量的低温惰性气体(缓冲)与之发生多体碰撞逐步凝聚生长成为纳米团簇的方法。其中,纳米团簇化的目的材料可以是能够提供足够蒸气压的或可以发生有效溅射的各种凝聚态材料,甚至可以是气...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。