技术编号:11841305
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。镀敷设备、镀敷方法和转换用于可拆卸地保持基板的基板保持器的姿势的方法本申请为下述申请的分案申请:原申请的申请日:2012年03月15日原申请的申请号:201210069120.8原申请的发明名称:镀敷设备和镀敷方法技术领域本发明涉及一种用于诸如半导体晶片的工件(基板)的表面进行镀敷的设备及镀敷方法,特别涉及一种适于在基板的表面中限定的微细互通的沟槽、孔或阻抗开口中形成镀敷薄膜,或者适于在基板的表面上形成与封装体(package)等的电极电连接的凸块(凸出电极)。对于用于半导体芯片等的三维外壳,需...
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