技术编号：11858904
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于薄膜特种传感器技术领域，具体涉及一种基于镀膜技术和光刻技术的薄膜传感器及其制备方法。背景技术在科学技术、工业生产、工程建造过程中，热流量以多种方式进行着传递，最常见的三种传递方式分别为导热、对流和辐射。随着现代科学技术的发展，热流密度的测量技术越发受到人们的关注。在热分析监察的领域中，热流密度测量的必要性已被重视和确认，相应的热流测量方法得到了较大的发展和普遍的应用。在辐射热流密度测量方面国外研发出了很多新型的传感器，新的材料研发和制作工艺水平的进步为其提供了技术支持，但在国内还处于相...
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