技术编号：11860503
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及金属氧化物检测气体的传感器领域，具体地，涉及集成的湿度传感器和多单元气体传感器及其制造方法。背景技术环境的质量与人们的生活和工作舒适度，健康息息相关。近几年来，随着人们对环境的要求越来越高，人们希望能有简单可靠，价格便宜的方法和产品检测环境空气的质量，比如一氧化碳、可燃性气体、乙醇、NO2等的不适或有毒气体在空气中的含量。用金属氧化物检测气体的传感器已经被研究多时，相关的专利也有申请和授予专利权。但是，因为气敏特性与湿度有关，如果要精确利用金属氧化物电阻的气敏特性检测气体，需要精确测量...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。