技术编号：11862721
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种电热式MEMS微镜阵列器件及其制造方法，属于微机电技术领域。背景技术MEMS（micro-electro-mechanical-systems）是由半导体或其他材料经过微加工工艺加工后构成的可控的微机械结构系统。MEMS依托于成熟的半导体工艺将电、机械和光、热、压电等传感器、执行器、信号处理和控制集成电路集成在一起。MEMS微镜是目前已经在光通信中广泛使用的一种器件。MEMS微镜的基本原理就是通过电热、静电或者磁力的作用使可以活动的微镜面发生转动或平动，从而改变输入光的传播方向...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。