技术编号:11863826
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种半导体设备的工艺控制方法及工艺控制装置。背景技术通常来说,当半导体设备进行工艺时,可为Auto和Maintenance两种模式,其中Auto模式是自动控制模式,多用于半导体设备正常工艺的运行状态的情况,是一种高度的自动模式;而Maintenance模式是维护模式,多用于半导体设备的检修和工艺异常后手动处理的情况。当半导体设备处于Auto模式下时,工艺过程中会出现多种工艺状态,如能够实现正常和特定工艺的状态,以及会造成报警的异常状态。这些工艺状态的转换可通过调...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。