技术编号:11869990
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光探测技术领域,设计一种超导纳米线单光子探测器,特别是涉及一种微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器。背景技术超导纳米线单光子探测器(SuperconductingNanowireSinglePhotonDetector,SNSPD)是一种重要的光探测器,可以实现从可见光到红外波段的单光子探测。SNSPD主要采用低温超导超薄薄膜材料,比如NbN、Nb、NbTiN、WSi等,超导纳米线直接形成于硅或者其它材料衬底(比如MgO、蓝宝石)表面。典型厚度约为5nm~10nm,器件通常采用10...
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