技术编号:11876370
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种FBAR谐振器及其制备方法,尤其是一种基于MEMS微加工技术的FBAR及其制备方法,属于微电子机械系统与新材料相结合的技术领域。背景技术薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种谐振体只有几um厚的新型射频薄膜器件。FBAR射频器件具有体积小、工作频率高、插入损耗小、功率容量大等优点,FBAR振荡器、滤波器、双工器已经广泛应用于移动通信领域。近年来,基于FBAR的各种传感器研究也悄然开始。FBAR传感器的体积小巧和高灵敏度、高可靠性引起了人们的广泛研究兴趣。已有研究报道指出,FBAR传感器...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。