一种水平多关节工业机器人的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11880025

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本发明涉及一种水平多关节工业机器人,用于在半导体制造厂输送晶片。背景技术一般传统的水平多关节机器人,对应于具有多个自由度的手臂关节的连接件被配备多个手臂旋转驱动源,且分别驱动各个手臂,除了上述手臂旋转驱动源之外,在一手臂的远端还配备一机器人手旋转驱动源。这种结构需要提供能源(如电缆布线或液压油或气体的管道)给手臂之间的连接件和手臂的远端用于触发手臂旋转驱动源和机器人手旋转驱动源。这样,手臂和机器人手的旋转运动给这些电缆布线和管道安排了机械载荷,从而降低了它自己的可靠性,而且在每个手臂设置旋转驱动...
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