技术编号：11881013
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶炉，特别涉及单晶炉自动清灰除尘罐。背景技术单晶炉是一种在惰性气体（氮气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生产无错位单晶的设备。目前的单晶炉在拉晶过程中通入氮气时，炉内的会产生粉尘。为了保证单晶炉内真空，需要接入真空泵不停的抽真空，产生的尾气接入油雾分离器过滤之后排入大气中。在真空泵抽真空过程中，炉内气体中大量粉尘会直接吸入真空泵内，粉尘与真空泵内的润滑油混合，导致真空泵润滑失效，如若润滑油更换不及时，会导致真空泵损坏，但润滑油更换频繁，不仅大大加大了拉晶...
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