技术编号：11885673
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及收纳在半导体装置、IC封装体、印刷基板、液晶面板或者有机EL显示器等制造时作为防尘器使用的防尘薄膜组件中的至少一个边长为大于500mm的大型防尘薄膜组件的防尘薄膜组件的收纳容器的包装构造体以及其包装方法。背景技术LSI、超LSI等半导体或为液晶显示器等制造中，要向半导体晶片或者液晶用玻璃板照射紫外光进行图案的制作，此时使用的光掩模如灰尘附着，灰尘就会对紫外光进行遮挡、反射，就会发生转印的图案的变形、短路，从而品质受损。因此，这些操作通常在无尘室中进行，但即使如此，也难以总是保持光掩模的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。