技术编号：11886816
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有绝缘基板的MEMS马达相关申请的交叉引用本申请要求2014年4月10日提交的、名称为“MEMSMotorsHavingInsulatedSubstrates”的美国临时申请No.61/977925的权益，其内容通过引用全部并入于此。技术领域本申请涉及声学装置，并且更具体地，涉及这些装置的构造。背景技术各种类型的声学装置已经使用多年。声学装置的一个示例是麦克风。一般而言，麦克风将声波转换成电信号。麦克风有时包括多个组件，包括微机电系统(MEMS)和集成电路(例如，专用集成电路(ASIC))。M...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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