技术编号：11887811
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路制造工艺技术领域，尤其涉及一种任意三维微结构的加工方法。背景技术微结构广泛存在于微流控芯片、生物芯片及微电子器件中，常用于控制各类型的化学反应、筛选异常细胞、基因检测、电学通道等各类重要应用场合。其中，微流控芯片因其微型、快速、高效、集成、自动、节能以及试剂耗费量低等特点，广泛应用于包括生命科学、分析化学、医学化验、食品卫生、环境监测等多种领域。但是，由于精确检测、控制反应等功能的需要，往往需要形状较为复杂的三维微结构，对微结构的形状及表面的质量要求也极高。目前制作复杂三维微结...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。