技术编号:11888530
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种抛光垫修整装置,属于抛光修整技术领域。背景技术现今技术的抛光垫修整器都是用“磨粒(例如:钻石)”作为加工刀具以移除抛光垫(Pad)材料。请参阅图1所示,抛光垫修整器Q的上方布满磨粒d。加工抛光垫的制程中,磨粒d加工是以磨削的方式移除抛光垫上的材料。然而,由于抛光垫修整器Q上的磨粒d,其切削刃的形状不规则,且通常磨粒d会以较大的负斜角挤入被加工材料中,属于多点磨削的加工机制,因而在材料表面留下粗糙的犁切痕迹(ploughing)。如果为了让表面粗糙度降低,则必须使用较高密度且较细...
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