技术编号:11901354
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种带有托碗的坩埚,属于碳化硅生产设备技术领域。背景技术现有的液相法生长碳化硅晶体技术,都是通过加热的方式将硅在高纯石墨坩埚中融化,形成碳在硅中的溶液,再将头部贴付有籽晶的石墨轴伸入到溶液中进行生长。由于石墨坩埚为开放式设计,所以在高温状态下,硅会挥发形成硅蒸汽,在石墨坩埚顶部有保温材料,硅蒸汽会和多孔的石墨纤维保温材料反应,生成碳化硅晶须,晶须会逐渐长大,并会和籽晶轴碰撞、折断进入溶液,随着溶液的流动,在上保温生成的晶须可能会带入晶体生长前沿,形成杂晶,干扰正常的晶体生长进程,使...
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